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德国海德汉光栅尺
一、位移传感器基本原理 光栅位移传感器的工作原理，是由一对光栅副中的主光栅(即标尺光栅)和副光栅(即指示 光栅)进行相对位移时，在光的干涉与衍射共同作用下产生黑白相间(或明暗相间)的规则条纹图形，称之为莫尔条纹。经过光电器件转换使黑白(或明暗)相同的条纹转换成正弦波变化的 电信号，再经过放大器放大，电路后，得到两路相差为90o的正弦波或方波，送 入光栅数显表计数显示。

二、位移传感器安装方式 光栅线位移传感器的安装比较灵活，可安装在机床的不同部位。一般将主尺安装在机床的工作台(滑板)上，随机床走刀而动，读数头固定在床身上，尽可能使读数头安装在主尺的下方。其安装方式的选择必须注意切屑、切削液及油液的溅落方 向。如果由于安装位置限制必须采用读数头朝上的方式安装时，则必须增加辅助密封装置。另外，一般情况下，读数头应尽量安装在相对机床静止部件上，此时输出导线不移动易固定，而尺身则应安装在相对机床运动的部件上(如滑板)。1、位移传感器安装基面 安装光栅线位移传感器时， 不能直接将传感器安装在粗糙不平的机床身上， 更不能安装 在打底涂漆的机床身上。光栅主尺及读数头分别安装在机床相对运动的两个部件上。用千分表检查机床工作台的主尺安装面与导轨运动的方向平行度。千分表固定在床身上， 移动工作 台，要求达到平行度为 0.1mm/1000mm 以内。如果不能达到这个要求，则需设计加工一件 光栅尺基座。基座要求做到：应加一根与光栅尺尺身长度相等的基座(基座长出光栅尺 50mm 左右)。该基座通过铣、磨工序加工，保证其平面平行度 0.1mm/1000mm 以内。 另外， 还需加工一件与尺身基座等高的读数头基座。读数头的基座与尺身的基座总共误差不 得大于±0.2mm。安装时，调整读数头位置，达到读数头与光栅尺尺身的平行度为 0.1mm 左右，读数头与光栅尺尺身之间的间距为 1~1.5mm 左右。2、位移传感器主尺安装 将光栅主尺用 m4 螺钉上在机床安装的工作台安装面上，但不要上紧，把千分表固定在床身上，移动工作台(主尺与工作台同时移动)。用千分表测量主尺平面与机床导轨运动方向 的平行度，调整主尺 m4 螺钉位置，使主尺平行度满足 0.1mm/1000mm 以时，把m2螺钉*上紧。