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ls486cml520mmid329991-50sn21227光电扫描

海德汉的大多数光栅尺采用光电扫描原理。光电扫描在工作中无接触，因此无磨损。光电扫描可以检测到非常细小的光
栅，栅线宽度可仅数微米，并能输出非常细小的信号周期信号。
测量基准的栅距越小，光电扫描的衍射现象越严重。海德汉直线光栅尺采用两种扫描原理：
• 成像扫描原理用于20 µm至大约40 µm的栅距
• 干涉扫描原理用于更小栅距的光栅，
例如，8 µm。

成像扫描原理
简单地说成像扫描原理是用透射光生成信号：两个栅距相同或相近的光栅与扫描掩
膜彼此相对运动。扫描掩膜的基体为透明色，而作为测量基准的光栅材料可为透明
材料也可以为反光材料。
当平行光穿过光栅时，以特定的间隔形成明暗的光影区。扫描光栅位于此处。当两
个光栅相对运动时，入射光进行调制：在狭缝对齐时，光线通过。如果一个光栅的
刻线与另一个光栅的狭缝对齐，光线无法通过。光电池组将这些光强变化转化成电
信号。特殊结构的扫描掩膜将光强调制为近正弦输出信号。
光栅条纹的栅距越小，扫描掩膜与光栅尺间的间距越小和公差越严。
LC、LS和LB系列直线光栅尺为成像扫描原理。