德国Heidenhain编码器LC193F-640-9扫描方法

 扫描方法

光电扫描
海德汉的大多数光栅尺采用光电扫描原理。光电扫描为非接触式扫描，因此无磨
损。光电扫描可以检测到非常精细的光栅，栅线宽度仅数微米，生成的输出信号的信号周期非常细小。
ECN、EQN、ERN、ROC、ROQ和ROD旋转编码器采用成像扫描原理。
简单地说，成像扫描原理是用透射光生成信号；例如用两个栅距相同栅状结构（栅尺与扫描掩膜）彼此相对地运动。扫描掩
膜为透明基体。测量基准上的栅状结构可在透明面上，也可在反光面上。
当平行光穿过光栅时，投影形成一定的间隔的明/暗光影区。栅距相同的扫描光栅位
于栅状结构投影的成像位置。当这两个栅状结构相对运动时，调制入射光：如果狭缝对齐，光线通过。如果一条栅线与另一
个上的狭缝对齐，光线无法通过。光电池将这些光强变化转化成近似正弦波形的电信号。采用成像扫描原理的编码器可用较大的安装公差，小栅距可达10 μm。

 用该扫描原理的式旋转编码器的光电池是大型、精细的栅状光电池，而不是一组分立的光电池。光电传感器的栅状结宽度与测量基准栅状结构的宽度相同。因此无需具有相同栅状结构的扫描掩膜。

其它扫描原理
ECI/EBI/EQI和RIC/RIQ旋转编码器采用感应式测量原理。感应扫描中，栅状结构调
制高频信号的幅值和相位。通过圆周扫描，位置值信号全部由沿圆周均匀分布的接收线圈生成。

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